發(fā)布時間: 2019-03-04 07:30:27
新聞來源: 無錫久安化工有限公司
由于氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外,所含其它物質的多少。例如:氮氣的純度,是指除N成份外,含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬、塵粒等雜質的多少;氨氣的純度,是指除NH3成份外,含有的O2、N2、CO2、H2O、塵粒等雜質的多少;又如氮和氦的混合氣,是指除N2和He成份外,含有的O2、CO2、H2O塵粒等雜質的多少。
無錫氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規(guī)模集成電路(VLSI)和特大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。
氣體純度常用的表示方法:
1、用百分數表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2、用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N數目與(1)中的“9”的個數相對應,小數點后的數表示不足“9”的數。如4N(99.99%),6N(99.9999%),7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。
關于雜質含量有常量、微量和痕量等表示,對于低于微量和痕量雜質一般指ppm~ppb范圍。具體的雜質濃度:1ppm=10-4%;1ppb=10-7%;1ppt=10-10%。
根據氣體純度的不同,通常又將氣體純度分為四級,即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體,下表給出氣體純度等級和器件生產工藝上的應用。
相關文章:
由于氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(或元素)稱為該氣...
隨著中國經濟的快速發(fā)展,工業(yè)氣體作為國民經濟基礎工業(yè)要素之一,在國民經濟中的重要地位和作用日益凸顯。...
工業(yè)氣體行業(yè)有著超過140年的悠久歷史。1912年,我國******套空分誕生。改革開放以后,工業(yè)氣體工程這塊也是...
無錫特種氣體系統的設計與施工一:概念特氣輸送系統是指:將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通...
無錫工業(yè)氣體主要包括氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。這些工業(yè)氣體因其具有固...